在半導(dǎo)體生產(chǎn)中，濕度異?？赡軙?huì)對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生嚴(yán)重影響。一般來(lái)說(shuō)，半導(dǎo)體生產(chǎn)行業(yè)的溫濕度條件為：T=22±2°C，RH=45±5%。當(dāng)濕度過(guò)大時(shí)，可采取以下處理措施。購(gòu)買工業(yè)除濕機(jī)，根據(jù)半導(dǎo)體潔凈廠房的總面積、凈化車間等級(jí)、生產(chǎn)線的一些有關(guān)工業(yè)設(shè)備規(guī)格，可根據(jù)需求訂制，可合理降低無(wú)塵車間濕度。使用恒溫恒濕機(jī)來(lái)調(diào)節(jié)溫度濕度，不可以轉(zhuǎn)變很大，不然良品率會(huì)立刻減少。依據(jù)制作工藝要求，應(yīng)綜合考慮人舒適感。拆換或清理髙效送風(fēng)口，按原型規(guī)格拆換新的高效空氣過(guò)濾器。采取降低新風(fēng)系統(tǒng)的方法。提高半導(dǎo)體潔凈廠房除濕發(fā)電機(jī)組，增加風(fēng)量來(lái)除濕。風(fēng)冷模塊發(fā)電機(jī)組的選擇可以考慮深度冷卻后在半導(dǎo)體潔凈廠房的相對(duì)濕度。合理安排工藝流程，避免在高濕度環(huán)境下進(jìn)行敏感工藝操作?？刂迫藛T活動(dòng)，避免過(guò)多的人員聚集在潔凈區(qū)域。 當(dāng)濕度過(guò)低時(shí)，可使用超聲波干霧加濕機(jī)、純水加濕器等設(shè)備進(jìn)行加濕。例如在秋冬季節(jié)，空氣干燥，不能滿足潔凈室的需求，此時(shí)可使用干霧加濕機(jī)，需要使用純凈水來(lái)加濕，這樣才能適合潔凈室對(duì)空氣濕度的需求。半導(dǎo)體潔凈車間濕度不夠時(shí)，可使用純水加濕器來(lái)給半導(dǎo)體潔凈車間加濕，把空氣濕度控制在 45RH 左右的范圍內(nèi)，可以起到加濕降塵防靜電等作用。此外，在半導(dǎo)體微電子工業(yè)中，溫濕度傳感器檢測(cè)儀的應(yīng)用尤為重要。溫濕度傳感器可以實(shí)時(shí)準(zhǔn)確地監(jiān)測(cè)環(huán)境中的溫濕度，一旦出現(xiàn)異常，能及時(shí)發(fā)現(xiàn)并處理。同時(shí)，為實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體潔凈車間溫濕度的精準(zhǔn)調(diào)控，通常會(huì)安裝專業(yè)的監(jiān)測(cè)設(shè)備，用于實(shí)時(shí)監(jiān)控車間內(nèi)部的溫濕度狀況。還會(huì)配備傳感器、曲線圖表和報(bào)警系統(tǒng)等輔助設(shè)備，以確保在溫濕度出現(xiàn)異常時(shí)能夠及時(shí)發(fā)現(xiàn)并處理，從而避免對(duì)生產(chǎn)過(guò)程造成不良影響。 ### 濕度過(guò)大時(shí)半導(dǎo)體生產(chǎn)的處理措施 半導(dǎo)體潔凈廠房濕度過(guò)大對(duì)于一些對(duì)濕度要求嚴(yán)格的產(chǎn)品來(lái)說(shuō)是很不利的，必須及時(shí)采取措施解決。主要解決辦法有： - 購(gòu)買工業(yè)除濕機(jī)，根據(jù)半導(dǎo)體潔凈廠房的總面積、凈化車間等級(jí)、生產(chǎn)線的一些有關(guān)工業(yè)設(shè)備規(guī)格，可根據(jù)需求訂制，可合理降低無(wú)塵車間濕度。 - 使用恒溫恒濕機(jī)來(lái)調(diào)節(jié)溫度濕度，不可以轉(zhuǎn)變很大，不然良品率會(huì)立刻減少。 - 依據(jù)制作工藝要求，應(yīng)綜合考慮人舒適感。拆換或清理髙效送風(fēng)口，按原型規(guī)格拆換新的高效空氣過(guò)濾器。 - 采取降低新風(fēng)系統(tǒng)的方法。 - 提高半導(dǎo)體潔凈廠房除濕發(fā)電機(jī)組，增加風(fēng)量來(lái)除濕。 - 風(fēng)冷模塊發(fā)電機(jī)組的選擇可以考慮深度冷卻后在半導(dǎo)體潔凈廠房的相對(duì)濕度。 - 合理安排工藝流程，某些工藝操作可能會(huì)增加潔凈廠房的濕度。在工藝流程設(shè)計(jì)中，要考慮濕度控制的因素，避免在高濕度環(huán)境下進(jìn)行敏感工藝操作。 - 控制人員活動(dòng)，人員的呼吸、出汗和其他活動(dòng)會(huì)釋放濕氣，增加室內(nèi)濕度。因此，需要控制人員的活動(dòng)和密度，避免過(guò)多的人員聚集在潔凈區(qū)域。 ### 濕度過(guò)低時(shí)半導(dǎo)體生產(chǎn)的處理措施 當(dāng)半導(dǎo)體潔凈車間濕度不夠時(shí)，可以采取以下措施： - 在秋冬季潔凈車間空氣變得干燥時(shí)，使用純水加濕器給半導(dǎo)體潔凈車間加濕，把空氣濕度控制在 45RH 左右的范圍內(nèi)，可以起到加濕降塵防靜電等作用。例如 CS 系列純凈水超聲波桶裝水工業(yè)加濕器，廣泛應(yīng)用于電子廠房、車間、庫(kù)房、食品、無(wú)塵室、實(shí)驗(yàn)室等場(chǎng)所的加濕、消除靜電等工作，以滿足工業(yè)產(chǎn)品對(duì)其生產(chǎn)車間，倉(cāng)儲(chǔ)環(huán)境工藝性的需求。 - 電子廠、半導(dǎo)體廠、程控機(jī)房、防爆工廠等場(chǎng)所的濕度要求一般在 40% - 60%RH，如果相對(duì)濕度不夠則會(huì)造成靜電增高，使產(chǎn)品的成品率下降、芯片受損，甚至在一些防爆場(chǎng)所會(huì)造成爆炸。當(dāng)空氣濕度低于 35%RH 時(shí)是極易產(chǎn)生靜電的，將空氣濕度提高到 45%RH 以上是有效的。日業(yè) CS 系列工業(yè)超聲波純水加濕器無(wú)機(jī)械驅(qū)動(dòng)、無(wú)噪音干擾、無(wú)污染，霧化效率高、故障率低、能耗低、維護(hù)簡(jiǎn)便，是高效可靠、實(shí)用的超聲波空氣質(zhì)量調(diào)節(jié)加濕設(shè)備。 半導(dǎo)體生產(chǎn)中濕度異常會(huì)對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)過(guò)程產(chǎn)生重大影響。當(dāng)濕度過(guò)大時(shí)，可能會(huì)導(dǎo)致冷卻水管壁上結(jié)露，引起各種事故，如在精密裝置或電路中可能導(dǎo)致短路等問(wèn)題。同時(shí)，濕度過(guò)大還容易使產(chǎn)品受潮，影響產(chǎn)品性能和可靠性。而當(dāng)濕度過(guò)低時(shí)，會(huì)產(chǎn)生靜電，對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品造成損害，如導(dǎo)致集成電路內(nèi)部故障、晶體氧化等。因此，在半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中，必須嚴(yán)格控制濕度，采取有效的處理措施，確保生產(chǎn)環(huán)境的穩(wěn)定和產(chǎn)品質(zhì)量的可靠。